純凈水設(shè)備一般都是生產(chǎn)生活用水的，作為生活用水在要求方面肯定要嚴(yán)格很多，那么純凈水設(shè)備在使用之前需要先考慮3個方面。
1、自備一套余氯比色測定計。
目前所運用的純凈水設(shè)備的膜多為低壓的聚酰胺膜，該膜在運用中不耐氯，尤其在重金屬離子的效果下，易氧化形成損。自來水多含重金屬離子，在活性炭失效后，極易損膜。自來水余氯和有機物的含量是改變的，僅僅靠核算和估量是不行的，活性炭的失效要以測驗為準(zhǔn)，這樣既可防止過早替換的糟蹋和過遲替換引起的膜損。該比色計的價格便宜，操作也方便?？稍诤怂愕奶鎿Q期前10d開端每天測定。
2、當(dāng)?shù)刈詠硭乃|(zhì)陳述是必不可少的，盡管國內(nèi)有一個自來水規(guī)范，但各地的自來水是不同的。
能夠從自來水公司獲得近期的水質(zhì)陳述，在購買純凈水設(shè)備時提供給設(shè)備廠商，由廠商依據(jù)水質(zhì)陳述中的余氯核算斷定活性炭的大致替換周期，依據(jù)水質(zhì)陳述中的鈣、鎂等離子的濃度核算斷定回收率的規(guī)模、可能的污染及清洗的方法。
3、裝置純凈水設(shè)備時應(yīng)預(yù)留清洗和保養(yǎng)的進出口。
因為一體化設(shè)備無阻垢劑投加體系，結(jié)垢是不免的，加上運轉(zhuǎn)中可能會呈現(xiàn)微生物和膠體等污染，因此清洗是有必要的。在冬天或長時間不運轉(zhuǎn)時保養(yǎng)、消毒也是必要的。在一體化設(shè)備的進口端接上三通及閥門后別離接原水和清洗水箱。在清洗和保養(yǎng)時要取出活性炭。

超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是**半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計，同時可進一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質(zhì)不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

工業(yè)純水設(shè)備的穩(wěn)定運行及使用壽命，與日常的運行管理息息相關(guān)，正確操作需注意以下事項。
1、反滲透膜的水解易造成反滲透裝置的性能惡化，因此要嚴(yán)格控制水的PH值，給水PH值在3-11范圍內(nèi)。
2、如果給水的FI值超標(biāo)，膜組件的表面會附著污垢，出現(xiàn)這種現(xiàn)象須進行清洗。
3、因注入的次氯酸鈉量不足，造成給水中的游離氯不能測出時，工業(yè)純水設(shè)備的膜組件會有黏泥，使壓差增加，所以要嚴(yán)格控制進入膜組件的游離氯量，制止超過規(guī)定值導(dǎo)致膜氧化分解。
4、給水不能超過設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)值，否則會造成膜組件提前劣化。另外，濃水的不得小于設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)值，否則會使工業(yè)純水設(shè)備的壓力容器流動不均勻，由過分濃縮使膜組件析出污垢。
5、高壓泵不可中斷運轉(zhuǎn)，否則裝置容易故障。
工業(yè)純水設(shè)備
6、夏天給水溫度高，產(chǎn)水就多，減低操作壓力的話，會導(dǎo)致產(chǎn)水水質(zhì)下降。因此，建議操作壓力保持，減少膜組件的數(shù)量便可。
7、冬季水溫下降，為了制止反滲透裝置停運時析出二氧化硅，應(yīng)用低壓給水置換反滲透裝置內(nèi)的水。
8、如果沒有適當(dāng)?shù)膲簩?，會減低工業(yè)純水設(shè)備除鹽率，因此壓力要保持適當(dāng)?shù)脑６取?br/>9、保安過濾器壓差加快上升，是因為渾濁度的泄漏；出現(xiàn)壓差加快下降的現(xiàn)象，是元件緊固螺絲松動，或是精密過濾器元件破損等原因造成的。
10、如果工業(yè)純水設(shè)備和出口的壓差超標(biāo)，說明給水在設(shè)計值以上，或者是膜面受到污染。重新調(diào)整，或者更換膜元件便可。

1．設(shè)備基本技術(shù)特征
系統(tǒng)采用全自動控制，系統(tǒng)運行時可設(shè)定自動反洗、再生程序； 
一級反滲透和二級反滲透設(shè)有回流管道，反滲透設(shè)備設(shè)有化學(xué)清洗裝置和消毒裝置； 
在一級反滲透和二級反滲透間設(shè)有 PH調(diào)節(jié)裝置，以保證設(shè)備產(chǎn)水電導(dǎo)率符合藥典要求； 
二級反滲透膜采用帶正電荷的抗污染反滲透膜，以保證反滲透設(shè)備能長期穩(wěn)定運行； 
一級反滲透管路采用 304不銹鋼材料，二級反滲透采用 316L 不銹鋼材料； 
在級反滲透和第二級反滲透設(shè)備中均裝有在線電導(dǎo)檢測儀表，產(chǎn)水電導(dǎo)率可隨時觀看； 
一級反滲透前設(shè)有低壓保護開關(guān)，二級反滲透前設(shè)有低壓保護和高壓保護開關(guān)； 
一級、二級反滲透水回收率可調(diào)整，一級反滲透回收率 60％－65％，二級反滲透回收率70％； 
前處理裝置均采用原裝進口件；前處理設(shè)備間管路采用 UPVC管材。 
純化水儲水罐帶呼吸過濾器，輸送管道裝有紫外線殺菌器和微孔過濾器，保證純水符合衛(wèi)生要求。
2．我公司設(shè)備設(shè)計、生產(chǎn)、安裝
（1）結(jié)構(gòu)設(shè)計應(yīng)簡單、可靠、拆裝簡便。 
（2）為便于拆裝、更換、清洗零件，執(zhí)行機構(gòu)的設(shè)計盡量采用的標(biāo)準(zhǔn)化、通用化、系統(tǒng)化零部件。 
（3）設(shè)備內(nèi)外壁表面，要求光滑平整、無死角，容易清洗、滅菌。零件表面應(yīng)做鍍鉻等表面處理，以耐腐蝕，防止生銹。設(shè)備外面避免用油漆，以防剝落。 
（4）制備純化水設(shè)備應(yīng)采用低碳不銹鋼或其他經(jīng)驗證不污染水質(zhì)的材料。制備純化水的設(shè)備應(yīng)定期清洗，并對清洗效果驗證。 
（5）用水接觸的材料必須是低碳不銹鋼或其他經(jīng)驗證不對水質(zhì)產(chǎn)生污染的 材料。制備用水的設(shè)備應(yīng)定期清洗，并對清洗效果驗證。 
（6）純化水儲存周期不宜大于，其儲罐宜采用不銹鋼材料或經(jīng)驗證無毒，耐腐蝕，不滲出污染離子的其他材料制作。保護其通氣口應(yīng)安裝不脫落纖維的疏水性除菌濾器。儲罐內(nèi)壁應(yīng)光滑，接管和焊縫不應(yīng)有死角和沙眼。應(yīng)采用不會形成滯水污染的顯示液面、溫度壓力等參數(shù)的傳感器。對儲罐要定期清洗、消毒滅菌，并對清洗、滅菌效果驗證。 
（7）制藥用水的輸送 
1）純化水和制藥用水宜采用易拆卸清洗、消毒的不銹鋼泵輸送。在需用壓縮空氣或氮氣壓送的純化水和用水的場合，壓縮空氣和氮氣須凈化處理。 
2）純化水宜采用循環(huán)管路輸送。管路設(shè)計應(yīng)簡潔，應(yīng)避免盲管和死角。管路應(yīng)采用不銹鋼管或經(jīng)驗證無毒、耐腐蝕、不滲出污染離子的其他管材。閥門宜采用無死角的衛(wèi)生級閥門，輸送純化水應(yīng)標(biāo)明流向。
3）輸送純化水和用水的管道、輸送泵應(yīng)定期清洗、消毒滅菌，驗證合格后方可投入使用。
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